Прибор для измерения толщины и поверхностного сопротивления пленок. SURAGUS EddyCus® TF map
Прибор для измерения толщины и поверхностного сопротивления пленок. Картирование измеряемых параметров по всей поверхности образца. Прибор предназначена для быстрого измерения и картирования по площади образца поверхностного сопротивления и толщины пленок, оценки гомогенности слоев и обнаружения локальных эффектов и дефектов. Применяется для контроля параметров подложек после процессов осаждения, легирования, отжига и др.
Особенности:
-
Метод измерения – бесконтактный
-
Скорость сканирования 200ммх200мм (от 1,5 до 15мин)
-
Картирование измеряемых параметров по всей поверхности подложки
-
Диапазон измерения поверхностного сопротивления: от 0,001 до 1000 Ом / кв.
-
Размер подложек: до 250 х 250 мм (EddyCus® TF map 2525SR) или до 500 х 500 мм (EddyCus® TF map 5050SR)
-
Диапазон измерения толщины: 2 нм - 2 мм (в соответствии с удельным сопротивлением пленки)
-
Толщина подложек: 2/5/10/25 мм
Измеряемые параметры:
Поверхностное сопротивление R_sq [Ом/квадрат]
Толщина металлических слоев 2нм – 2мм
Определение дефектов и анализ слоев
Измерение латерального распределение толщины металлического слоя
Контроль качества, входной и выходной контроль
Области применения:
Микроэлектроника
Дисплеи, сенсорные экраны
OLED и LED применения
Смарт-стекла
Графеновые слои
Фотовольтаика
Полупроводниковые пластины
Слои метализации
Слои для борьбы с обледенением
Электроды батарей
Упаковочная пленка или фольга
Проводящая бумага и проводящий текстиль
