© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Прибор для измерения толщины и поверхностного сопротивления пленок. SURAGUS EddyCus® TF map

Прибор для измерения толщины и поверхностного сопротивления пленок. Картирование измеряемых параметров по всей поверхности образца. Прибор предназначена для быстрого измерения и картирования по площади образца поверхностного сопротивления и толщины пленок, оценки гомогенности слоев и обнаружения локальных эффектов и дефектов. Применяется для контроля параметров подложек после процессов осаждения, легирования, отжига и др.

 

Особенности:

  • Метод измерения – бесконтактный

  • Скорость сканирования 200ммх200мм (от 1,5 до 15мин)

  • Картирование измеряемых параметров по всей поверхности подложки

  • Диапазон измерения поверхностного сопротивления: от 0,001 до 1000 Ом / кв.

  • Размер подложек: до 250 х 250 мм (EddyCus® TF map 2525SR) или до 500 х 500 мм (EddyCus® TF map 5050SR)

  • Диапазон измерения толщины: 2 нм - 2 мм (в соответствии с удельным сопротивлением пленки)

  • Толщина подложек: 2/5/10/25 мм

Измеряемые параметры:

 

Поверхностное сопротивление R_sq [Ом/квадрат]

Толщина металлических слоев 2нм – 2мм

Определение дефектов и анализ слоев

Измерение латерального распределение толщины металлического слоя

Контроль качества, входной и выходной контроль

 

Области применения:

Микроэлектроника

Дисплеи, сенсорные экраны

OLED и LED применения

Смарт-стекла

Графеновые слои

Фотовольтаика

Полупроводниковые пластины

Слои метализации

Слои для борьбы с обледенением

Электроды батарей

Упаковочная пленка или фольга

Проводящая бумага и проводящий текстиль