© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Прибор бесконтактного измерения поверхностного сопротивления и толщины слоев SURAGUS EddyCus® inline

Устройство бесконтактного измерения поверхностного сопротивления и толщины слоев, гомогенности для контроля технологического процесса производства тонкопленочных материалов. Программное обеспечение EddyCus TF позволяет проводить мониторинг, визуализацию, хранение и обработку полученных данных. Применяется для контроля параметров подложек после процессов осаждения, легирования, отжига и др.

 

Особенности:

  • Метод измерения - бесконтактный, в режиме реального времени

  • Высокая скорость измерений до 1000 точек в секунду

  • Низкие температурные дрейфы – высокая стабильность измерений

  • Поддержка от 1 до 99 линий измерения параметров в одной системе

  • Толщина подложек: 5/15/25/35 мм (другой по запросу)

  • Измерения в вакууме (in-situ)

  • Частота дискретизации: 1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50

Измеряемые параметры:

 

Поверхностное сопротивление R_sq [Ом/квадрат]

Толщина металлических слоев 2нм-2мм

Электрическая анизотропия

Оптическая прзрачность

 

Области применения:

Микроэлектроника

Дисплеи, сенсорные экраны

OLED и LED применения

Смарт-стекла

Графеновые слои

Фотовольтаика

Полупроводниковые пластины

Слои метализации

Слои для борьбы с обледенением

Электроды батарей

Упаковочная пленка или фольга

Проводящая бумага и проводящий текстиль