© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Установка травления индуктивно-связанной плазмой MAXIS300LAH/LCH GIGALANE

Установка ICP (индуктивно связанной плазмы) травления, используется для PSS (Patterned Sapphire Substrate) процессов, улучшающих эффективность светодиодных чипов.

Приложения:

  • Sapphire(PSS for LED) травление

  • MESA(GaN,Isolation for LED) травление

  • SiO2 травление

  • Metal(Al) травление

  • SiC травление

  • Glass травление