Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M
Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током.
Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.
Технические параметры:
-
поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;
-
расположение – лицом вниз;
-
максимальная температура нагрева – 350 ºС;
-
диаметр используемых мишеней – 76 мм;
-
мощность источника постоянного тока 1100 Вт;
-
напряжение максимальное – 1000 В;
-
откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;
-
количество газовых каналов – один с максимальным расходом 20 см3/мин;
-
способ регулирования - электронный регулятор;
-
предельный вакуум – 10-6 торр;
-
управление – автоматическое от ПК или ручное;
-
контроль давления – с использованием химически стойкого мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;
-
рабочее давление в реакторе – порядка 0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;
-
инфраструктурные требования – сжатый воздух;
-
питание - 220 В, не более 3 кВт;
-
масса не более 350 кг.
Дополнительные возможности по требованию заказчика
-
ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;
-
питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;