ПРОЕКТИРОВАНИЕ, РЕКОНСТРУКЦИЯ, ТЕХНИЧЕСКОЕ ПЕРЕВООРУЖЕНИЕ, СТРОИТЕЛЬСТВО И ОСНАЩЕНИЕ ЛАБОРАТОРИЙ И ПРОИЗВОДСТВ

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M

​

 Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических  слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током.

 

 Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Технические параметры:

​

• поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;

• расположение – лицом вниз;

• максимальная температура нагрева – 350 ºС;

• диаметр используемых мишеней – 76 мм;

• мощность источника постоянного тока 1100 Вт;

• напряжение максимальное – 1000 В;

• откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;

• количество газовых каналов – один с  максимальным расходом 20 см3/мин;

• способ регулирования - электронный регулятор;

• предельный вакуум – 10-6  торр;

• управление –  автоматическое от ПК или ручное;

• контроль давления – с использованием химически стойкого  мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;

•  рабочее давление в реакторе – порядка  0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;

• инфраструктурные требования – сжатый воздух;

• питание  - 220 В, не более 3 кВт;

• масса не более 350 кг.

​​

    Дополнительные возможности по требованию заказчика

​

• ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;

• питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;