© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Малогабаритная установка магнетронного напыления ETNA-M

 Установка магнетронного напыления ETNA-M предназначена для осаждения металлических  слоев. Реактор выполнен из нержавеющей стали с верхним фланцем, несущим на себе функцию нагрева образцов. На нижнем фланце располагается водоохлаждаемый магнетрон с питанием постоянным током.

 

 Ориентирована на лабораторное исследовательское и образовательное применение, а также мелкосерийное производство.

Технические параметры:

  • поштучная обработка образцов диаметром до 100 мм;

  • расположение – лицом вниз;

  • максимальная температура нагрева – 350 ºС;

  • диаметр используемых мишеней – 76 мм;

  • мощность источника постоянного тока 1100 Вт;

  • напряжение максимальное – 1000 В;

  • откачка на базе сухого спирального и турбомолекулярного насосов;

  • количество газовых каналов – один с  максимальным расходом 20 см3/мин;

  • способ регулирования - электронный регулятор;

  • предельный вакуум – 10-6  торр;

  • управление –  автоматическое от ПК или ручное;

  • контроль давления – с использованием химически стойкого  мембранного датчика, блокировки на открытие клапанов;

  •  рабочее давление в реакторе – порядка  0.5 Па, определяется потоком газа через магнетрон;

  • инфраструктурные требования – сжатый воздух;

  • питание  - 220 В, не более 3 кВт;

  • масса не более 350 кг.

    Дополнительные возможности по требованию заказчика

  • ионный источник с замкнутым дрейфом электронов, устанавливаемый вместо магнетрона;

  • питание ионного источника – постоянным током от дополнительного контроллера;