Произвдитель AFMHD

Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 600 EB SP

​

Cryofox Discovery 600 EB SP и Cryofox Explorer 600 представляют из себя систему большим объёмом камеры, оснащенную одним источником электронного луча и двумя 2-дюймовыми магнетронами, индивидуально питаемыми от источника постоянного тока.

 

Имеет раздельное строение камер: держатель подложки с водяным охлаждением помещены в верхнюю камеру (загрузочную камеру), а источники испарителя расположены в основной камере внизу. Данная установка предлагает множество возможностей, включая одновременное осаждение и реактивные процессы напыления. Система может работать как в полностью автоматическом, так и ручном режиме. Программное обеспечение Cryosoft3 обеспечивает уникальный контроль процесса осаждения, а также удобный интерфейс. 

Диаметр пластины

50,8 - 150 мм

Габариты

1400 x 1860 x 1250 мм

Вес

около 1500 кг

Основная камера, версия LT

290 x 785 x 380 мм, Ш x В x Г, около 87 литров

Основная камера, версия ST

290 x 410 x 380 мм, Ш x В x Г, около 45 литров

Загрузочная камера

290 x 265 x 580 мм, Ш x В x Г, около 45 литров

​

Подключение

Базовое давление

1E-7 мбар

Электропитание

3 x 400 В, пик 7 кВА

Подключение воды

18-25 C, максимальная мощность охлаждения 6 кВт>

Поток охлаждающей воды

18 л / мин, макс. Перепад давления 5 бар

Заказать