Установка двустороннего магнетронного напыления Discovery 600 EB SP
Cryofox Discovery 600 EB SP и Cryofox Explorer 600 представляют из себя систему большим объёмом камеры, оснащенную одним источником электронного луча и двумя 2-дюймовыми магнетронами, индивидуально питаемыми от источника постоянного тока.
Имеет раздельное строение камер: держатель подложки с водяным охлаждением помещены в верхнюю камеру (загрузочную камеру), а источники испарителя расположены в основной камере внизу. Данная установка предлагает множество возможностей, включая одновременное осаждение и реактивные процессы напыления. Система может работать как в полностью автоматическом, так и ручном режиме. Программное обеспечение Cryosoft3 обеспечивает уникальный контроль процесса осаждения, а также удобный интерфейс.
Диаметр пластины
50,8 - 150 мм
Габариты
1400 x 1860 x 1250 мм
Вес
около 1500 кг
Основная камера, версия LT
290 x 785 x 380 мм, Ш x В x Г, около 87 литров
Основная камера, версия ST
290 x 410 x 380 мм, Ш x В x Г, около 45 литров
Загрузочная камера
290 x 265 x 580 мм, Ш x В x Г, около 45 литров
Подключение
Базовое давление
1E-7 мбар
Электропитание
3 x 400 В, пик 7 кВА
Подключение воды
18-25 C, максимальная мощность охлаждения 6 кВт>
Поток охлаждающей воды
18 л / мин, макс. Перепад давления 5 бар