© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Установка  магнетронного напыления Cryofox Tornado 405

 Cryofox Tornado 405 представляет собой компактную установку магнетронного напыления для подложек до 100 мм, оснащенную держателем подложки и наклонной головкой с водяным охлаждением. В стандартном варианте она оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронами для осаждения с помощью ВЧ источника переменного тока, и сухих вакуумных насосов.

 Система проста в управлении и в эксплуатации, обладает высокой повторяемостью процесса- это удобный и мощный инструмент в том числе для R&D задач.

Вакуумная камера

400 x 500 x 485 мм,60 литров

Габариты

1240 x 1250 x 1500 мм

Высокоакуумные насосы

Турбомолекулярный насос 400 l/s

Плазменная очистка

Источник и питание 1400 В, 50 Гц

Электропитание

3 x 400 В, пик 1,5 кВА