Установка магнетронного напыления Cryofox Tornado 405
Cryofox Tornado 405 представляет собой компактную установку магнетронного напыления для подложек до 100 мм, оснащенную держателем подложки и наклонной головкой с водяным охлаждением. В стандартном варианте она оснащена двумя 3-дюймовыми магнетронами для осаждения с помощью ВЧ источника переменного тока, и сухих вакуумных насосов.
Система проста в управлении и в эксплуатации, обладает высокой повторяемостью процесса- это удобный и мощный инструмент в том числе для R&D задач.
Вакуумная камера
400 x 500 x 485 мм,60 литров
Габариты
1240 x 1250 x 1500 мм
Высокоакуумные насосы
Турбомолекулярный насос 400 l/s
Плазменная очистка
Источник и питание 1400 В, 50 Гц
Электропитание
3 x 400 В, пик 1,5 кВА