Установка Cryofox Tornado 306
Cryofox Tornado 306 - это компактная система для нанесения тонких пленок с помощью электронного луча, способная работать с подложками диаметром до 200 мм. В стандартной комплектации она оснащена источником осаждения электронным лучом мощностью 3 кВт с тиглями 4 х 4 см 3 или 6 х 2 см3.
Система проста в управлении и в эксплуатации, обладает высокой повторяемостью процесса - это удобный и мощный инструмент в том числе для R&D задач.
Вакуумная камера
300 x 600 x 350 мм,60 литров
Габариты
1240 x 1250 x 1600 мм
Вакуумные насосы
Edwards nEXT 400, 400 l/s, Edwards XDS 35 m³/h сухой насос
Источник питания и источник электронного луча
Макс. 3 кВт, 6-10 кВ, 4 х 4 см3 или 6 х 2 см 3 тиглей
Электропитание
3 x 400 В, пик 5 кВА