© 2018 ООО «СИТЭК».

Произвдитель AFMHD

Установка Cryofox Tornado 306

 Cryofox Tornado 306 - это компактная система для нанесения тонких пленок с помощью электронного луча, способная работать с подложками диаметром до 200 мм. В стандартной комплектации она оснащена источником осаждения электронным лучом мощностью 3 кВт с тиглями 4 х 4 см 3 или 6 х 2 см3.

 

 Система проста в управлении и в эксплуатации, обладает высокой повторяемостью процесса - это удобный и мощный инструмент в том числе для R&D задач.

Вакуумная камера

300 x 600 x 350 мм,60 литров

Габариты

1240 x 1250 x 1600 мм

Вакуумные насосы

Edwards nEXT 400, 400 l/s, Edwards XDS 35 m³/h сухой насос

Источник питания и источник электронного луча

Макс. 3 кВт, 6-10 кВ, 4 х 4 см3 или 6 х 2 см 3 тиглей

Электропитание

3 x 400 В, пик 5 кВА